英哥小课堂 | 电子工业的“粮食”，电子特气的生产工艺发表时间：2023-12-05 14:50  英哥每期一讲，从行业特性解读空压机应用， 让空压机知识更易理解，空压机选配更轻松、更高效。 ·本期话题· 空压机在电子特气生产中的应用 电子特气是电子特种气体的简称，Electronic Specialty Gases（ESG），属于特种气体的其中一类，特种气体与大宗气体并列，均属于工业气体。相比于传统工业气体，电子特气纯度更高，用途也更特殊，如半导体、平板显示及其它电子产品的生产过程中，电子特气都是不可或缺的关键性原材料，因此也有电子工业的“粮食”之称。 电子特气的品质由纯度和净度两个维度的标准来衡量。 纯度 5N-6N N 指纯度百分比中9的个数 例如6N 表示99.9999% 净度 将金属元素净化到 10-9级至10-12级 纯度每提升一个N，金属杂质含量浓度每降低一个数量级，对生产工艺的考验都极其复杂，难度很大。 如果电子特气的纯度或是净度不达标，轻则使得下游产品质量不过关，重则扩散污染整条产品线，造成产品全部报废。 电子特气的生产工序 空气分离 将空气中各组成成分分开，以获得特种气体或大宗气体 气体合成 原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，发生化学反应，生成气体粗产品 气体纯化 通过精馏、吸附等方式将粗产品气体提炼为更高的纯度 气体混配 将两种或两种以上有效气体按照特定比例混合，得到多组均匀分布的混合气体 气体检测 对气体的成分进行分析、检测 气瓶处理 根据载气性质及需求的不同，对气瓶内部、内壁表面及外观进行处理，以保证气体存储、运输过程中气体产品保持稳定 气体充装 通过压力差将气体充入气瓶等压力容器 生产过程中的主要设备有： · 空气过滤器 · 空气压缩机 · 吸附塔 · 热交换器 · 精馏塔 · 脱硫槽 · 转化炉 · 中变炉 · 增压器 · 洗涤塔 · 干燥塔 · 蒸馏塔 · 混配系统 · 混配器 · 混均机 · 纯化器 · 分析仪器 · 清洗机 · 研磨抛光机 · 热氨气吹扫机 · 检漏设备 · 烘干机 · 模压机 · 气化器 · 充装系统 主要用气点有： · 空气分离（提供空气原料） · 气动阀门 · 压紧气缸 · 雾化喷嘴 · 吹扫 · 气动仪表 · 气力输送 · 喷淋 · 气体增压 · 气体液化 电子特气的生产工艺中 对压缩空气的要求 含油要求 0.01ppm 含尘要求 0.01μm 露点要求 -40℃（PDP） 排气压力 7bar 可以满足以上用气要求的 空气压缩机  01 定频微油螺杆空压机 用于空气分离、气体合成 02 变频无油螺杆空压机 用于气体纯化、气体混配 03 离心式空气压縮机 用于气瓶处理、气体充瓶、气体增压、气体液化 英格索兰空气压缩机系列 您值得信赖的合作伙伴  |